UVテープ上にマウントされたウエハーに紫外線を照射する事によって粘着力を落とし、 ピックアップを容易にする装置です。
　近年需要の多いブラックライト式UVランプを採用しており、超寿命、コストメリット、 オゾンフリー、入手が容易等の定評があります。又、波長350〜360nmの出力を有している為、 照射ムラが無く、各種UVテープへの対応が可能です。 又、窒素パージ（標準装備）でUV硬化を促進しております。